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为了替代导致公害的浸湿镀膜工程，设计、制作及开发一列磁控溅射系统
...工程 |
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用电弧源及磁控源开发出分批形真空镀膜装置
气缸及管道内部镀膜用无公害高速真空镀膜装置及工程开发 |
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为了代替半導體
IC包装用表面靜電防止复合材射出塔盘， 傳導性瓷器镀膜
..座的國産化开发
核融合试验装置的加热装置中中和光线喷射用大型真空室及高真空管
..Cryosorption
Panel设计制作 |
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在核融合试验装置的离子源和中和光线喷射室之间安装的束引出试验用装
...置的连接器设计制作 |
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自从核融合试验装置的离子源发生的离子光线加速装置圆形引出口离子源
...加速部设计及制作
14“ 玻璃镀膜用磁控溅射系统开发
多源磁控喷射系统开发 |
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KSTAR PFC(Plasma Facing Components)制作設計及PFC中
Inboard
...Limiter
制作試制品
核融合试验装置用离子光线中和化装置设计及制作
为了超傳導電線维持于極低溫，能变形的热屏蔽开发及制作試制品
4套高效率大型平板型磁控源安装用分批形PVD裝備開發 |
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焊接用超大型半導體用铝真空室制作技術硏究
6套高效率 4“ 圓形磁控源安装用分批型PVD裝備開發
为了维持極低溫的Tokamak眞空容器的溫度， 熱遮挡体制作試制品 |
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專門硏究领域
