- Coating service
- Coating Equipment
- Vacuum system
- Application
  Home > 사업분야> 진공시스템
 
 

  대형 평판형 아크 소스 및 원형 아크 소스를 이용한 양산용 PVD코딩 시스템

마그네트론 소스가 장착 가능하여 하이브리드(Hybrid)코팅 시스템으로의 전환이 가능하며, 각종 절삭공구, 펀치, 금형 및 기계부품등의 내마모 코팅에 이용되고 있다.


  6개의 대형 평판형 소스가 장착된 습식도금 대체형 초고속 In-Line 마그네트론 스퍼터링 시스템.

로딩, 플라즈마 세정, 코팅 및 언로딩 쳄버로 구성되어 있으며,자동가스조절장치가 장착되어 있고 PLC에 의해 전공정 자동 운전이 가능하다.


  4개의 마그네트론 소스 장착이 가능한 연구용 시스템.

지그공자전이 가능하고,공압 타겟 셔터 및 가스조절장치가 장착되어 있다.

반응성 마그네트론 스퍼터링 공정 개발, 다층박막 개발 및 자장배열에 따른 특성분석 및 평가에 이용된다.


  1개의 대형 평판형 마그네트론 소스와 자동왕복형 지그가 장착되어 있는 마그네트론 스퍼터링 시스템.

반응성 마그네트론 스퍼터링 공정 개발, 새로운 마그네트론 소스개발 및 Metalized 공정 개발에 이용된다.


  Chamber 측면에 4개의 외장형 소스와 상부에 2개의 내장형 소스가 장착 가능한 마그네트론 스퍼터링 시스템.

자동가스조절장치,공압 타겟 셔터 및 PLC에 의한 자동운전이 가능하며,Muti-layer 박막개발,반응성 마그네트론 스퍼터링 공정 개발 등에 이용된다.