可以装磁控源，并可以转换成混合物(Hybrid)镀膜系统,利用于各种剪切工具, 冲床, 模具及机械配件等的耐磨镀上。

以上料、 等离子洗净、 镀膜及下料室组成,装有自动调节煤气装置，并通过PLC(可编程逻辑控制器)全工程可以自动运转。

夹具可以空转和自转, 装有磁控源光闸及煤气调节装置。

利用于反应性磁控溅射工程开发、多层薄膜开发及随磁场排列的特性分析及评价上。

利用于反应性磁控溅射工程开发, 新的磁控源开发及金属(Metalized)工程开发上。

自动调节煤气装置、磁控源广闸及依PLC可以自动运转,利用在多层(Muti-layer) 薄膜开发、 反应性磁控溅射工程的开发等。